Model: JSM – IT800
Nhà sản xuất: JEOL
Xuất xứ: Nhật Bản Năm sản xuất: 2021-2022
Cấu hình: JSM – IT800SHL
– JSM-IT800 (SHL) là bước đột phá mới của công nghệ thông minh trong FE-SEM. Trong phiên bản này Fesem được trang bị Thấu kính Super Hybrid (SHL) cho phép quan sát và phân tích với độ phân giải cao;
– Tích hợp chức năng thao tác nhanh: có camera quan sát trong buồng mẫu, được tích hợp công nghệ chuyển đổi hình ảnh và thao tác đo mẫu trực quan từ ảnh thực sang ảnh điện tử quét.
THÔNG SỐ KỸ THUẬT
| JSM-IT800 (SHL) | |
| Độ phân giải | Có thể quan sát tốt mẫu vật với kích thước 0.5nm |
| Độ phóng đại | Độ phóng đại ảnh:
×10 tới ×2,000,000 (128 × 96 mm) |
| Thế gia tốc | 0.01 đến 30kV |
| Dòng điện dò | Từ vài pA đến 500nA (30kV), vài pA đến 100nA ( 5kV) |
| Cảm biến (Tiêu chuẩn) | SED (Cảm biến SE), UHD (Cảm biến Upper Hybrid) |
| Loại súng điện tử | Súng điện tử phát xạ trường In-lens Schottky Plus |
| Ống kính điều khiển góc khẩu độ | Tích hợp sẵn |
| Vật kính | Thấu kính Super Hybrid/ SHL |
| Đế mẫu | Đế đo góc lệch chính tâm toàn phần |
| Di chuyển mẫu | X: 70 mm Y: 50 mm Z: 1 đến 41 mm Góc nghiêng: -5 tới 70° Xoay: 360° |
| Động cơ điều khiển | Động cơ điều khiển 5 trục |
| Kích thước mẫu | Đường kính tối đa: 170 mm Chiều cao tối đa: 45 mm (WD 5 mm) |
| Chế độ lấy nét độ sâu lớn (LDF) | Tích hợp sẵn |
| Buồng thay mẫu | Tích hợp sẵn |
Hệ thống EDS
Model máy dò: Ultim Max 65
Hãng sản xuất: Oxford Instruments
Năm sản xuất: 2021-2022
Nguyên tố phát hiện từ berili (Be) đến californium (Cf)
– Phân tích thành phần bằng việc kết hợp đầu dò detector (EDS) với IT800 (SHL)
+ Tích hợp công nghệ phân tích liên tục đồng thời hình ảnh FESEM với detector EDS (oxford ultimax 65) thuận tiện cho việc khảo sát khu vực cần phân tích và tăng độ chính xác cho kỹ thuật phân tích.
+ JSM-IT800 <SHL> được trang bị súng điện tử phát xạ trường In-lens Schottky Plus có khả năng duy trì đường kính đầu dò nhỏ ngay cả ở thế gia tốc thấp hoặc dòng điện dò lớn. Do đó, việc tích hợp EDS vào FE-SEM có thể giúp tăng sự thuận tiện trong quá trình vận hành từ quan sát đến phân tích và cũng có thể thu được các bản đồ thành phần nguyên tố có độ phân giải không gian cao chỉ trong vòng vài phút.
Máy phủ
Model: JEC – 3000FC
Nhà sản xuất: JEOL
Năm sản xuất: 2021-2022
– Máy phủ mịn tự động JEC – 3000FC này là một thiết bị phún xạ ion có thể lắng đọng các vật liệu khác nhau trên các mẫu vật không dẫn điện như mô sinh học một cách hiệu quả và nhanh chóng, và chủ yếu được sử dụng làm thiết bị chuẩn bị mẫu vật cho kính hiển vi điện tử quét (SEM).
CHỨC NĂNG
– Quan sát hình thái, cấu trúc bề mặt mẫu rắn với kích thước từ nano ở các độ phóng đại khác nhau
– Kết hợp với đầu thu phổ tán xạ năng lượng tia X (detector EDS) cho phép phân tích thành phần nguyên tố và quan sát đánh giá sự phân bố nguyên tố ở vùng quan sát
ỨNG DỤNG
– Kính hiển vi điện tử quét SEM có thể được sử dụng trong nhiều ứng dụng công nghiệp, thương mại và nghiên cứu.
– SEM được sử dụng trong khoa học vật liệu để nghiên cứu, kiểm soát chất lượng và phân tích lỗi.
– Trong khoa học vật liệu hiện đại, các nghiên cứu về ống nano và sợi nano, chất siêu dẫn nhiệt độ cao, cấu trúc trung tính và độ bền của hợp kim, tất cả đều phụ thuộc rất nhiều vào việc sử dụng SEM để nghiên cứu và điều tra.
– Trên thực tế, bất kỳ ngành khoa học vật liệu nào, từ hàng không vũ trụ và hóa học đến điện tử và sử dụng năng lượng, đều chỉ có thể thực hiện được với sự trợ giúp của SEM.
Thông tin liên hệ
Phòng Quản trị thiết bị
Tel: (+84-24) 37 91 8510
Email: emd@usth.edu.vn
Địa chỉ: Phòng 718, tầng 7, tòa A21, Trường Đại học Khoa học và Công nghệ Hà Nội
